摘要:本實用新型涉及一種臺式一體化原子力顯微鏡,包括主機和金屬屏蔽隔音箱,金屬屏蔽隔音箱內(nèi)部下端設有電子控制系統(tǒng),主機設在金屬屏蔽隔音箱內(nèi)的防震裝置上,防震裝置通過四根彈簧懸掛在金屬屏蔽隔音箱內(nèi);主機的下端設有掃描器基座,掃描器基座前側(cè)面的中上方設有精密二維調(diào)節(jié)裝置,掃描器基座的頂端設有掃描器,掃描器的左右兩側(cè)對稱設有粗調(diào)驅(qū)動裝置,掃描器的后端設有微調(diào)驅(qū)動裝置;主機上端設有探針頭部,探針頭部頂端的左右兩側(cè)分別設有四象限接收器二維調(diào)整機構(gòu)和激光器二維調(diào)整機構(gòu),探針頭部前側(cè)面的中下部靠近邊緣處設有探針模塊。本實用新型的有益效果為:結(jié)構(gòu)簡單,使用方便;外界干擾對儀器工作影響??;具有原子與納米級的分析能力。
- 專利類型實用新型
- 申請人蘇州海茲思納米科技有限公司;
- 發(fā)明人韓雄;李立強;羅先照;
- 地址215000 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)星湖街218號生物納米園A4樓105
- 申請?zhí)?/b>CN201120163732.4
- 申請時間2011年05月20日
- 申請公布號CN202083708U
- 申請公布時間2011年12月21日
- 分類號G01Q60/36(2010.01)I;




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