摘要：本實用新型涉及一種用于電鍍層表面分析的顯微檢測儀，包括支架、電子控制裝置和計算機，電子控制裝置通過導(dǎo)線與計算機連接，所述支架的頂部設(shè)有CCD攝像裝置，CCD攝像裝置包括目鏡和物鏡轉(zhuǎn)換器，物鏡轉(zhuǎn)換器的下部設(shè)有物鏡和SPM探頭，所述支架的底部設(shè)有步進馬達精密調(diào)焦裝置，步進馬達精密調(diào)焦裝置的上表面設(shè)有步進馬達二維精密工作臺，步進馬達二維精密工作臺上表面的中部設(shè)有三維掃描臺，三維掃描臺通過導(dǎo)線與電子控制裝置連接。本實用新型的有益效果為：可以用光學(xué)顯微鏡來選擇樣品的細(xì)節(jié)，使要測量的部位進入視場的中央，然后將SPM探頭轉(zhuǎn)至測量位置，對同一區(qū)域進行掃描即可開始高分辨測量，極大地提高了工作效率，成為最實用的表面分析裝置。
- 專利類型實用新型
- 申請人蘇州海茲思納米科技有限公司;
- 發(fā)明人胡志強;羅先照;
- 地址215000 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)星湖街218號生物納米園A4樓105
- 申請?zhí)?/b>CN200920175594.4
- 申請時間2009年08月24日
- 申請公布號CN201477021U
- 申請公布時間2010年05月19日
- 分類號G01N13/00(2006.01)I;G01N13/10(2006.01)I;
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