摘要：本發(fā)明提供一種由壓電陶瓷低電壓區(qū)構(gòu)成的低電壓微位移驅(qū)動電路及控制方法。電路由微控制器MCU、數(shù)模轉(zhuǎn)換器D/A、一級運放A1、二級運放A2、三級運放A3及壓電陶瓷PZT構(gòu)成；其控制方法如下：設(shè)定相位差設(shè)置值→設(shè)定壓電陶瓷控制電壓初值→驅(qū)動壓電陶瓷伸縮→推動干涉顯微鏡鏡筒→產(chǎn)生不同相位干涉圖→將圖象變?yōu)閿?shù)字信號→算出相位差→實測值與設(shè)置值比較→根據(jù)差值修正壓電陶瓷控制電壓值，實測值與設(shè)置值之間小于允許誤差結(jié)束調(diào)整。本發(fā)明使光電輪廓儀具有重量輕、體積小、精度高、造價低、性能全的優(yōu)點，成為納米級精確測量物體輪廓及表面粗糙度的新型儀器。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人上海精密科學(xué)儀器有限公司;
- 發(fā)明人朱紀忠;陳若雷;陸忠;
- 地址200233上海市蒼梧路7號
- 申請?zhí)?/b>CN200610148202.6
- 申請時間2006年12月28日
- 申請公布號CN1995909A
- 申請公布時間2007年07月11日
- 分類號G01B11/24(2006.01);G01B11/30(2006.01);
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