摘要：本發(fā)明提供了一種汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子輪槽量規(guī)表面耐磨涂層的制備方法，包括：步驟1，提供一無涂層的汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子輪槽量規(guī)和一真空爐，真空爐中設(shè)置有Ti靶材；步驟2，將無涂層的汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子輪槽量規(guī)置于真空爐內(nèi)，對(duì)無涂層的汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子輪槽量規(guī)的表面進(jìn)行加靶活化；步驟3，對(duì)表面已完成活化的汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子輪槽量規(guī)進(jìn)行TiN涂層沉積：調(diào)節(jié)真空爐爐腔溫度為180～200℃，向真空爐腔中通入N2氣，N2氣體流量為150～180sccm，對(duì)Ti靶材通電作為蒸發(fā)源，通電電流為120～140A，在汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子輪槽量規(guī)上加偏壓為150～180V，持續(xù)15～20min后完成TiN涂層沉積并進(jìn)入下一步；步驟4，在TiN涂層表面進(jìn)行DLC涂層沉積。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人上海應(yīng)用技術(shù)學(xué)院;上海應(yīng)術(shù)電站配件有限公司;
- 發(fā)明人張東民;張而耕;姚松駿;惲龐杰;劉銘心;盛育東;馮全華;曹啟偉;陳厚良;
- 地址200235 上海市徐匯區(qū)漕寶路120號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201610239273.0
- 申請(qǐng)時(shí)間2016年04月18日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN105671552A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年06月15日
- 分類號(hào)C23C28/04(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23C16/27(2006.01)I;
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