摘要：本發(fā)明公開了一種基于多軸對稱激光束的微探針尖端熱成形系統(tǒng)，涉及微探針尖端加工制造領(lǐng)域。該系統(tǒng)主要包括：激光模塊、多軸對稱光路模塊、在線監(jiān)測模塊、探針位置調(diào)整模塊、信號分析處理模塊和激光防護模塊等；所述的激光模塊發(fā)出的CO2激光經(jīng)過多軸對稱光路模塊后，形成相對于Z方向?qū)ΨQ的四束激光，從探針的四個對稱方向?qū)ζ浼舛诉M行加熱成形；所述的在線監(jiān)測模塊可將實時加工信息反饋給信號分析處理模塊，并通過信號分析處理模塊及時調(diào)整探針的加工方案。本系統(tǒng)采用的多軸對稱激光束微探針尖端熱成形方法，可使探針尖端均勻受熱，保證熱應(yīng)力分布平衡，能夠快速形成具有較高幾何與形貌精度的探針尖端，提高了探針尖端加工成形的質(zhì)量和效率。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人四川大學(xué);
- 發(fā)明人許斌;尹德強;方輝;劉乾乾;
- 地址610065 四川省成都市武侯區(qū)一環(huán)路南一段24號
- 申請?zhí)?/b>CN201610034625.9
- 申請時間2016年01月20日
- 申請公布號CN105537757A
- 申請公布時間2016年05月04日
- 分類號B23K26/00(2014.01)I;B23K26/70(2014.01)I;
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