摘要：本發(fā)明公開了一種微探針尖端成形激光加工系統(tǒng)，涉及微探針尖端加工制造領域。該系統(tǒng)主要包括：激光發(fā)生模塊、光路調(diào)節(jié)模塊、探針位置調(diào)整模塊、在線監(jiān)測模塊、信號分析處理模塊、激光防護模塊等；所述的激光發(fā)生模塊發(fā)出的激光，經(jīng)光路調(diào)節(jié)模塊調(diào)節(jié)后，匯聚在探針尖端，可對探針尖端進行局部快速加熱成形；所述的在線監(jiān)測模塊能夠對加工過程進行實時監(jiān)測，所述的信號分析處理模塊通過調(diào)節(jié)與其連接的功率控制器，控制整個加工過程。本系統(tǒng)可靈活調(diào)整熱源作用區(qū)域的大小和位置，不易導致微探針除尖端以外其他區(qū)域的損壞，適合對微小局部區(qū)域快速加熱，同時加熱功率和加熱時間容易精確控制，可在短時間內(nèi)得到理想的探針尖端球形形狀。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人四川大學;
- 發(fā)明人許斌;趙世平;唐海容;劉乾乾;陳偉;
- 地址610065 四川省成都市武侯區(qū)一環(huán)路南一段24號
- 申請?zhí)?/b>CN201510275772.0
- 申請時間2015年05月27日
- 申請公布號CN104874911B
- 申請公布時間2016年10月12日
- 分類號B23K26/00(2014.01)I;B23K26/70(2014.01)I;
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