摘要：本發(fā)明提供一種能提高排氣量和極限真空度并能謀求裝置的小型化的隔膜真空泵。該隔膜真空泵通過(guò)如下方式形成，即，形成隔膜真空泵單元(11a)，并將隔膜真空泵單元沿上下方向疊放多層，利用齒形帶(2)將在上下方向上相鄰的隔膜真空泵單元的凸輪軸彼此連結(jié)起來(lái)，并將一個(gè)隔膜真空泵單元的凸輪軸(12a)連接于馬達(dá)(12)，隔膜真空泵單元包括：凸輪軸；曲軸機(jī)構(gòu)(13)，通過(guò)凸輪軸的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行工作；連接構(gòu)件(14)，利用曲軸機(jī)構(gòu)而沿水平方向進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)；隔膜(15、16)，其安裝于連接構(gòu)件的兩端部；一對(duì)泵室(17、18)，其容積通過(guò)隔膜的動(dòng)作而擴(kuò)大或縮小；與泵室相連通的進(jìn)氣通路和排氣通路；進(jìn)氣側(cè)止回閥；排氣側(cè)止回閥。
- 專(zhuān)利類(lèi)型發(fā)明專(zhuān)利
- 申請(qǐng)人東京理化器械株式會(huì)社;
- 發(fā)明人有賀真一;
- 地址日本東京都
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201410677561.5
- 申請(qǐng)時(shí)間2014年11月21日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN104976106A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年10月14日
- 分類(lèi)號(hào)F04B43/02(2006.01)I;
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