摘要:本發(fā)明提供一種能夠提高連接于進(jìn)氣通路和排氣通路的配管的配置的自由度并謀求提高進(jìn)氣側(cè)止回閥和排氣側(cè)止回閥的組裝性的隔膜真空泵。進(jìn)氣側(cè)止回閥和排氣側(cè)止回閥分別由將閥芯(32f)收納于殼構(gòu)件(32a)而成的閥單元(32)形成。進(jìn)氣通路和排氣通路均由在基端部設(shè)有大徑安裝部(31a)的噴嘴(31)形成,在大徑安裝部(31a)的基端部設(shè)有用于收納閥單元(32)的收納部(31b)。通過將閥單元(32)收納于收納部(31b)且將大徑安裝部(31a)分別插入到形成于泵室的插入孔中、并將壓板(34)跨著大徑安裝部(31a)的外表面和泵室的頂壁的外表面地安裝,從而將進(jìn)氣通路和排氣通路固定于泵室。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人東京理化器械株式會(huì)社;
- 發(fā)明人有賀真一;
- 地址日本東京都
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201410592161.4
- 申請(qǐng)時(shí)間2014年10月29日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN104976102A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年10月14日
- 分類號(hào)F04B39/12(2006.01)I;F04B39/10(2006.01)I;




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