摘要：本發(fā)明適用于光學(xué)對(duì)焦領(lǐng)域，提供了一種光路放大的自動(dòng)對(duì)焦裝置，包括：發(fā)光部分1、分光鏡2、第一柱面鏡5和一維位置敏感器6；一維位置敏感器6、第一柱面鏡5和分光器2從上往下依次設(shè)置于聚焦鏡4的正上方；分光鏡2相對(duì)聚焦鏡4傾斜設(shè)置，發(fā)光部分1設(shè)置在分光鏡2的斜向下面的水平側(cè)；發(fā)光部分1出射光束經(jīng)分光鏡2部分反射，通過(guò)聚焦鏡4聚焦至聚焦鏡4下方的被測(cè)工件3上，在工件3上形成反射光再次通過(guò)聚焦鏡4，經(jīng)分光鏡2部分透射后，經(jīng)柱面鏡5一維聚焦后，入射到一維位置敏感器6上。利用柱面鏡的一維聚焦功能，實(shí)現(xiàn)離焦量被放大至一維位置敏感傳感器顯示，達(dá)到高精度測(cè)量離焦量的目的。
- 專(zhuān)利類(lèi)型發(fā)明專(zhuān)利
- 申請(qǐng)人武漢華工激光工程有限責(zé)任公司;
- 發(fā)明人何智恒;張麗華;雷桂明;王雪輝;聶茂泉;
- 地址430223 湖北省武漢市東湖開(kāi)發(fā)區(qū)華中科技大學(xué)科技園激光產(chǎn)業(yè)園
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201410851988.2
- 申請(qǐng)時(shí)間2014年12月31日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN104714289A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年06月17日
- 分類(lèi)號(hào)G02B7/09(2006.01)I;
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