摘要:本實用新型公開了一種晶圓激光打標(biāo)機的自動送料機構(gòu),其安裝于晶圓激光打標(biāo)機上,該自動送料機構(gòu)包括有能帶動晶圓進行上下移動的工裝升降裝置、能抓取晶圓并將晶圓水平移送到打標(biāo)位置下方的晶圓抓取裝置以及能將晶圓抬高到適合激光打標(biāo)高度的晶圓升降裝置。借由本實用新型的晶圓激光打標(biāo)機的自動送料機構(gòu),可以提高激光打標(biāo)機的工作效率,該送料機構(gòu)具有穩(wěn)定、高效、安全等優(yōu)點。
- 專利類型實用新型
- 申請人武漢華工激光工程有限責(zé)任公司;
- 發(fā)明人閔大勇;盧飛星;孫紹文;王偉;
- 地址430223 湖北省武漢市東湖開發(fā)區(qū)華中科技大學(xué)科技園激光產(chǎn)業(yè)園
- 申請?zhí)?/b>CN201120386771.0
- 申請時間2011年10月12日
- 申請公布號CN202278843U
- 申請公布時間2012年06月20日
- 分類號B41J11/00(2006.01)I;




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