摘要：一種導(dǎo)電薄膜，包括層疊的MZO層及Co3O4層，其中，MZO為摻鋁的氧化鋅、摻鎵的氧化鋅或摻銦的氧化鋅。上述導(dǎo)電薄膜通過在MZO層的表面沉積高功函的Co3O4層制備雙層導(dǎo)電薄膜，既能保持MZO層的良好的導(dǎo)電性能，又使導(dǎo)電薄膜的功函數(shù)得到了顯著的提高。本發(fā)明還提供一種導(dǎo)電薄膜的制備方法及應(yīng)用。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技術(shù)有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司;
- 發(fā)明人周明杰;陳吉星;王平;黃輝;
- 地址518000 廣東省深圳市南山區(qū)南海大道海王大廈A座22層
- 申請?zhí)?/b>CN201310578170.3
- 申請時間2013年11月18日
- 申請公布號CN104647815A
- 申請公布時間2015年05月27日
- 分類號B32B9/00(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I;H01B5/00(2006.01)I;
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