摘要：本發(fā)明公開了一種大口徑球面光學(xué)元件表面疵病檢測系統(tǒng)及其方法。本發(fā)明包括XY二維導(dǎo)軌、二維旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)、大口徑球面光學(xué)元件、環(huán)形照明光源、Z向?qū)к?、顯微鏡、CCD1、光學(xué)自準(zhǔn)直定中儀、CCD2；大口徑球面光學(xué)元件固定于二維旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)上，二維旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)安裝于XY二維導(dǎo)軌上，實(shí)現(xiàn)大口徑球面光學(xué)元件的多軸聯(lián)動；CCD1連接到顯微鏡上并固定于環(huán)形照明光源上，環(huán)形照明光源及光學(xué)自準(zhǔn)直定中儀固定于Z向?qū)к壣希㈦SZ向?qū)к壯豘軸方向平動，CCD2連接到光學(xué)自準(zhǔn)直定中儀上。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了大口徑球面元件表面疵病的子孔徑采樣過程，對全口徑疵病灰度圖像進(jìn)行數(shù)字化特征提取后，從而實(shí)現(xiàn)疵病的自動化定量檢測。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人浙江大學(xué);
- 發(fā)明人楊甬英;劉東;曹頻;李陽;李璐;
- 地址310027 浙江省杭州市西湖區(qū)浙大路38號
- 申請?zhí)?/b>CN201410479580.7
- 申請時間2014年09月18日
- 申請公布號CN104215646B
- 申請公布時間2016年06月29日
- 分類號G01N21/958(2006.01)I;
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