摘要：本發(fā)明公開了一種加熱型邊界層控制減阻超精密磁懸浮導軌工作臺系統(tǒng)及其方法。包括工作臺、導軌、控制裝置和激光多普勒干涉儀；導軌的兩側翼和工作臺的兩內側面設有兩對導向磁鐵，導軌兩側下表面和工作臺底部兩側上表面設有兩對懸浮磁鐵和兩對直線電機繞組，每對直線電機繞組包括設在工作臺的直線電機轉子繞組和設在導軌的直線電機定子繞組；本發(fā)明通過磁懸浮方式改變空氣間隙高壓氣體從節(jié)流孔的高速噴出方式，同時通過邊界層上表面加熱控制方法，使空氣間隙中的氣體運動維持在層流狀態(tài)，減小非接觸式工作臺運動部件與固定件之間空氣間隙內的阻力，提高非接觸式工作臺定位精度，減小工作臺能耗。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人浙江大學;
- 發(fā)明人俞自濤;田付有;黃連鋒;范利武;朱子欽;李佳琦;
- 地址310027 浙江省杭州市西湖區(qū)玉古路38號
- 申請?zhí)?/b>CN201410264324.6
- 申請時間2014年06月16日
- 申請公布號CN104092410B
- 申請公布時間2016年06月15日
- 分類號H02N15/00(2006.01)I;B23Q1/38(2006.01)I;
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