摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種加熱型邊界層控制減阻超精密磁懸浮導(dǎo)軌工作臺(tái)系統(tǒng)及其方法。包括工作臺(tái)、導(dǎo)軌、控制裝置和激光多普勒干涉儀；導(dǎo)軌的兩側(cè)翼和工作臺(tái)的兩內(nèi)側(cè)面設(shè)有兩對(duì)導(dǎo)向磁鐵，導(dǎo)軌兩側(cè)下表面和工作臺(tái)底部?jī)蓚?cè)上表面設(shè)有兩對(duì)懸浮磁鐵和兩對(duì)直線電機(jī)繞組，每對(duì)直線電機(jī)繞組包括設(shè)在工作臺(tái)的直線電機(jī)轉(zhuǎn)子繞組和設(shè)在導(dǎo)軌的直線電機(jī)定子繞組；本發(fā)明通過(guò)磁懸浮方式改變空氣間隙高壓氣體從節(jié)流孔的高速噴出方式，同時(shí)通過(guò)邊界層上表面加熱控制方法，使空氣間隙中的氣體運(yùn)動(dòng)維持在層流狀態(tài)，減小非接觸式工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)部件與固定件之間空氣間隙內(nèi)的阻力，提高非接觸式工作臺(tái)定位精度，減小工作臺(tái)能耗。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人浙江大學(xué);
- 發(fā)明人俞自濤;田付有;黃連鋒;范利武;朱子欽;李佳琦;
- 地址310027 浙江省杭州市西湖區(qū)玉古路38號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201410264324.6
- 申請(qǐng)時(shí)間2014年06月16日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN104092410B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年06月15日
- 分類號(hào)H02N15/00(2006.01)I;B23Q1/38(2006.01)I;
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