摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種超高真空環(huán)境下緊湊型高精度多維旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，包括有的相互配合安裝的云臺(tái)旋轉(zhuǎn)組件、極向旋轉(zhuǎn)組件和環(huán)向旋轉(zhuǎn)組件，所述環(huán)向旋轉(zhuǎn)組件的云臺(tái)框架與云臺(tái)旋轉(zhuǎn)組件的旋轉(zhuǎn)云臺(tái)配合安裝，所述極向旋轉(zhuǎn)組件的極向推動(dòng)連桿從環(huán)向旋轉(zhuǎn)組件的環(huán)形旋桿的內(nèi)部穿過(guò)，且極向推動(dòng)連桿與環(huán)形旋桿配合的末端處安裝有真空容器壁或真空法蘭，所述真空容器法蘭使其左端云臺(tái)旋轉(zhuǎn)組件以及部分極向旋轉(zhuǎn)組件和環(huán)向旋轉(zhuǎn)組位于真空環(huán)境內(nèi)。本發(fā)明結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，其結(jié)構(gòu)緊湊、占用空間小、精度高，尤其適用于等離子體物理實(shí)驗(yàn)裝置中的診斷設(shè)備、光學(xué)調(diào)整設(shè)備、真空鍍膜機(jī)內(nèi)部靶板或樣品臺(tái)、以及各類真空和超高真空條件下的高精度多維旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人合肥聚能電物理高技術(shù)開(kāi)發(fā)有限公司;
- 發(fā)明人李波;王曉潔;吳杰峰;劉甫坤;宋春;
- 地址230031 安徽省合肥市董鋪島
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201410187093.3
- 申請(qǐng)時(shí)間2014年05月05日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103982758A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2014年08月13日
- 分類號(hào)F16M11/12(2006.01)I;F16M11/18(2006.01)I;
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