摘要：本發(fā)明屬于利用放電來測試材料領(lǐng)域，具體提供了一種用于輝光放電濺射深度測量的雙激光器在線實時測量裝置及方法。本發(fā)明采用兩臺激光位移傳感器(A、B)和Grimm輝光放電光源(GDS)構(gòu)成在線實時深度測量裝置，能夠在輝光放電光譜儀進(jìn)行金屬樣品分析的同時，實時準(zhǔn)確測得樣品的濺射深度測量曲線和準(zhǔn)確的濺射深度測量結(jié)果，為傳統(tǒng)輝光深度分析方法中對深度估算不準(zhǔn)確的問題提供有效解決方案。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人鋼研納克檢測技術(shù)有限公司;
- 發(fā)明人李小佳;萬真真;王海舟;賈云海;余興;張勝坤;羅劍秋;
- 地址100081 北京市海淀區(qū)高梁橋斜街13號
- 申請?zhí)?/b>CN201110161110.2
- 申請時間2011年06月15日
- 申請公布號CN102829732B
- 申請公布時間2016年07月06日
- 分類號G01B11/22(2006.01)I;G01N21/67(2006.01)I;
教育裝備采購網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號
