摘要：本發(fā)明涉及一種靈敏的濕度傳感器材料的制備方法。該方法利用溶脹介孔化的嵌段共聚物為模板，經(jīng)原子層沉積(ALD)技術(shù)制備三維的介孔氧化物薄膜，從而制備出具有高靈敏度的濕度傳感器。主要包括以下具體步驟：(1)兩親性嵌段共聚物經(jīng)微相分離、選擇性溶劑溶脹后，制備出具有三維網(wǎng)絡(luò)狀孔結(jié)構(gòu)的有機(jī)模板；(2)將溶脹介孔化的有機(jī)模板放在反應(yīng)腔體中，依次往反應(yīng)室中通入金屬源前驅(qū)體、氮?dú)?、水蒸氣、氧化前?qū)體；(3)通過調(diào)節(jié)沉積循環(huán)次數(shù)，精確控制沉積層的厚度；(4)將ALD沉積后的有機(jī)模板，在高溫下煅燒，以去除有機(jī)模板，制備三維的介孔氧化物薄膜。本發(fā)明工藝簡單，過程高度可控。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人南京工業(yè)大學(xué);
- 發(fā)明人汪勇;李逢彬;邢衛(wèi)紅;范益群;
- 地址210009 江蘇省南京市鼓樓區(qū)新模范馬路5號(hào)
- 申請?zhí)?/b>CN201210078465.X
- 申請時(shí)間2012年03月22日
- 申請公布號(hào)CN102645455A
- 申請公布時(shí)間2012年08月22日
- 分類號(hào)G01N27/22(2006.01)I;C04B41/50(2006.01)I;
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