摘要：本發(fā)明涉及光學(xué)鍍膜用石英晶體監(jiān)控片。它包括基底石英晶片、鍍?cè)诨资⒕瑑擅娴牡兹趯蛹板冊(cè)诘兹趯由系碾姌O層，在電極層上還鍍有一層表融層。由于本發(fā)明在傳統(tǒng)的金、銀電極層上又加鍍了一層附著力很強(qiáng)的鉻、鎳、鈦、鋁等金屬，有效地增加了電極層與沉積膜之間的附著力，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)了增加沉積膜厚度的目的。使用本發(fā)明能提高鍍膜的生產(chǎn)效率，增加石英晶體監(jiān)控片的使用壽命，有效地降低生產(chǎn)成本。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人嘉興晶控電子有限公司;
- 發(fā)明人王祖勇;
- 地址314009浙江省嘉興市南湖區(qū)余新鎮(zhèn)鎮(zhèn)北路嘉興晶控電子有限公司
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN200910095269.1
- 申請(qǐng)時(shí)間2009年01月06日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN101475321A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2009年07月08日
- 分類號(hào)C03C17/36(2006.01)I;G01B7/06(2006.01)I;
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