摘要：本發(fā)明公開了一種氣體體積流量測(cè)量裝置，包括壓力傳感器、注射泵和微處理器；待測(cè)氣體通過(guò)氣體管路一方面作用于壓力傳感器，另一方面連接所述的注射泵；所述壓力傳感器將待測(cè)氣體的壓力與初始?jí)毫M(jìn)行比較，進(jìn)而生成壓差信號(hào)輸出至所述的微處理器；所述微處理器根據(jù)壓差大小生成相應(yīng)的控制信號(hào)驅(qū)動(dòng)注射泵以相應(yīng)的速度抽氣，直到壓差為零；在此過(guò)程中，注射泵將抽氣時(shí)所產(chǎn)生的位移編碼信號(hào)傳輸至所述的微處理器，所述微處理器根據(jù)位移編碼、注射泵的注射器容積以及抽氣時(shí)間計(jì)算出待測(cè)氣體的流量。本發(fā)明的氣體體積流量測(cè)量裝置靈敏度高，流量測(cè)量范圍寬，可靠性強(qiáng)，對(duì)于微流量氣體體積流量的測(cè)量具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人青島嶗山應(yīng)用技術(shù)研究所;
- 發(fā)明人何春雷;陳光成;謝傳欣;崔啟利;
- 地址266100 山東省青島市李滄區(qū)福島路195號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN200810249574.7
- 申請(qǐng)時(shí)間2008年12月26日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN101435712B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2010年07月21日
- 分類號(hào)G01F22/02(2006.01)I;
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