摘要：本發(fā)明公開了一種氣體體積流量測量裝置，包括壓力傳感器、注射泵和微處理器；待測氣體通過氣體管路一方面作用于壓力傳感器，另一方面連接所述的注射泵；所述壓力傳感器將待測氣體的壓力與初始壓力進(jìn)行比較，進(jìn)而生成壓差信號輸出至所述的微處理器；所述微處理器根據(jù)壓差大小生成相應(yīng)的控制信號驅(qū)動注射泵以相應(yīng)的速度抽氣，直到壓差為零；在此過程中，注射泵將抽氣時所產(chǎn)生的位移編碼信號傳輸至所述的微處理器，所述微處理器根據(jù)位移編碼、注射泵的注射器容積以及抽氣時間計算出待測氣體的流量。本發(fā)明的氣體體積流量測量裝置靈敏度高，流量測量范圍寬，可靠性強(qiáng)，對于微流量氣體體積流量的測量具有獨(dú)特的優(yōu)勢。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人青島嶗山應(yīng)用技術(shù)研究所;
- 發(fā)明人何春雷;陳光成;謝傳欣;崔啟利;
- 地址266100山東省青島市李滄區(qū)福島路195號
- 申請?zhí)?/b>CN200810249574.7
- 申請時間2008年12月26日
- 申請公布號CN101435712A
- 申請公布時間2009年05月20日
- 分類號G01F22/02(2006.01)I;
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