摘要：本發(fā)明公開了一種激光編碼器，包括一個(gè)激光光源、衍射光柵、偏振分光棱鏡、準(zhǔn)直透鏡、1/4波片、物鏡、編碼盤、凹透鏡、圓柱透鏡和光電接收器，其中編碼盤可繞一個(gè)位于中心的固定轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，其表面為可以反射所述激光的反射面，其上設(shè)置三組同心環(huán)狀的信息軌，其中每組信息軌由多個(gè)彼此間隔開的帶狀單元組成，所述的帶狀單元是在編碼盤表面加工形成的、與編碼盤表面的其他區(qū)域的高度差應(yīng)使從所述的凸臺(tái)或凹坑形區(qū)域反射回的光和從編碼盤表面的其它區(qū)域反射回的光在相位上相差180度的凸臺(tái)或凹坑區(qū)域。本發(fā)明還公開了一種采用上述激光編碼器的位移測(cè)量方法以及數(shù)控機(jī)床加工方法。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人西門子(中國(guó))有限公司;
- 發(fā)明人王廣玉;何明晰;孟爾平;曼弗雷德·勃姆;
- 地址100102北京市朝陽(yáng)區(qū)望京中環(huán)南路7號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN200510072357.1
- 申請(qǐng)時(shí)間2005年05月31日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN100538278C
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2009年09月09日
- 分類號(hào)G01D5/26(2006.01)I;G01D5/347(2006.01)I;G01D5/38(2006.01)I;
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