多功能數(shù)字式四探針測試儀/數(shù)字式四探針測試儀/四探針電阻率測試儀 HAD-ST2258A
概述
HAD-ST2258A型多功能數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量裝置,它可以測量片狀、塊狀半導(dǎo)體材料的電阻率,擴(kuò)散層的薄層電阻(亦稱方塊電阻)。換上四端子測試夾具,還可對電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測量。
本測試儀特贈設(shè)測試結(jié)果分類功能,分類10類
儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入;具有零位、滿度自校功能;自動轉(zhuǎn)換量程;測試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成,故定位準(zhǔn)確、游移率小、壽命長;測試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。
基本技術(shù)參數(shù)
1. 測量范圍、分辨率
電阻:1.0×10-3 ~200.0×103Ω,分辨率0.1×10-3 ~0.1×103Ω
電 阻 率:10.0×10-3 ~20.0×103 Ω-cm分辨率0.1×10-3 ~0.1×103Ω-cm
方塊電阻:10.0×10-3 ~20.0×103 Ω/□分辨率1.0×10-3 ~0.1×103Ω/□
2. 可測半導(dǎo)體材料尺寸
直徑:測試臺直接測試方式Φ15~130mm,其他方式不限.
長(或高)度:測試臺直接測試方式H≤160mm,其他方式不限.
3. 量程劃分及誤差等級
誤差±0.5%FSB±1LSB(在各量程范圍內(nèi)),超量程或欠量程可測量,但誤差將隨超欠程度而變大
4) 工作電源:220V±10%, f=50Hz±4%,PW≤5W
5) 外形尺寸:W×H×L=20cm×7.5cm×18cm
凈重:≤1kg
