產(chǎn)品簡介：
該款型號(hào)是一種可以分析從射頻DC~67GHz到高頻波的設(shè)備。由于射頻探針頭可以從四個(gè)方向方便的使用，因此它的優(yōu)點(diǎn)是能夠測(cè)量不同區(qū)域的樣品。此外，它還可以與直流并聯(lián)使用。
基本配置：
- 8"真空吸盤
- 漏電流：<10fA
- 射頻40GHz~67GHz ; 2端口~4端口
- X/Y軸移動(dòng)范圍：200x200mm（細(xì)調(diào)手柄，分辨率5um）
- Z軸移動(dòng)范圍：10mm
- 顯微鏡：90x（+CCD可達(dá)300x），更大倍數(shù)可訂制
- CCD相機(jī)：2.1M像素+22"液晶顯示屏
- 照明裝置：可調(diào)節(jié)亮度
- 真空針座：行程13mm；分辨率：1um ；精度：0.1um
- 探針支架：θ微控制
- 真空泵：低噪音真空泵
其他選項(xiàng)：
- 防震桌
- 暗箱（屏蔽箱）
- 加熱臺(tái)
- 轉(zhuǎn)接頭插線板
- 熱夾頭
- ......
