該型號(hào)為高性能型. 通過軟件可進(jìn)行mapping; 12"wafer 或碎片樣品均可適用;低漏電流~50fA, 可選配加熱卡盤,高倍顯微鏡,多通道探針卡,IV,CV,RF,高頻等.
規(guī)格&應(yīng)用:
- 半自動(dòng)探針臺(tái)&全測(cè)量.
- 12英寸低噪音卡盤。
- X,Y轉(zhuǎn)臺(tái)行程300 x 300mm.
- Z轉(zhuǎn)臺(tái):上/下移動(dòng)距離 15mm.
- 高倍顯微鏡&高清CCD攝像機(jī)
- 定位器:微型定位器主體單元PB100,真空底座分辨率1um.
- 選項(xiàng):暗箱,防震桌........