規(guī)格&應(yīng)用:
- 80mm卡盤
- 低漏泄電流-10fA以下
- 陶瓷背部:用于背部偏置或隔離 MBG25,MBG40
- 真空范圍:1x10E 3 or 6 torr
- 溫度范圍:77K~570K,LN2(溫度選項:770K可用)
- 260(10K)~300(570K),780K,1000K.氦氣
- 顯微鏡&CCD攝像機(jī)
- 真空定位器支架
- 真空泵及計量系統(tǒng)
- 有多種Option可供選配:多通道氣體導(dǎo)入,RF探針,激光或光譜光照,真空樣品轉(zhuǎn)移盒.......
- 根據(jù)用戶需求也可定制