
產(chǎn)品簡介:
SR5000N是一款用于測量硅片和太陽能電池片的面電阻和電阻率的系統(tǒng)。該系統(tǒng)是為便于個(gè)人計(jì)算機(jī)操作而設(shè)計(jì)的,具有多種數(shù)據(jù)分析、繪圖等功能.
技術(shù)參數(shù):
- Z大可測樣品尺寸:Φ300mm 或 210×210mm
面電阻測量:1mΩ/sq ~ 2MΩ/sq
- 測量模式 : 接觸式 4-探針
電阻率測量:10.0 μΩ·cm ~ 200.0 KΩ·cm
- 測量模式 : 接觸式 4-探針 (需輸入厚度)
軟件系統(tǒng):
- Recipe 測試:根據(jù)使用者設(shè)定的 Recipe 直接測試
- 標(biāo)準(zhǔn)測試:ASTM、SEMI
- Pattern 測試:49,81,121,225 點(diǎn)等
- 數(shù)據(jù)分析:2D、3D、數(shù)據(jù)圖譜、統(tǒng)計(jì)等
- 數(shù)據(jù) & mapping 可打印
主要特點(diǎn):
- X,R,Z軸全自動控制系統(tǒng)
- 自動& 手動范圍可選
- 通過PC進(jìn)行控制
- 更大尺寸(Φ450mm 或 315 x 315mm)可選