橢圓偏振測(cè)厚儀 橢圓測(cè)厚儀 型號(hào)：XRS-SGC-1A
指標(biāo)：
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編號(hào) |
名稱(chēng) |
參數(shù) |
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1 |
測(cè)量范圍 |
1nm-300nm |
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2 |
測(cè)量小值 |
≤1nm |
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3 |
入射角 |
30°～90°誤差≤0.1° |
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4 |
偏振器方位角讀數(shù)范圍 |
0°～180° |
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5 |
度盤(pán)刻度 |
每格2度 |
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6 |
游標(biāo)小讀數(shù) |
0.05° |
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7 |
光學(xué)中心高度 |
152mm |
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8 |
工作臺(tái)直徑 |
φ70mm |
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9 |
外形尺寸 |
730mm×230mm×290mm |
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10 |
主機(jī)重量 |
20kg |
