電容電壓特性測試儀 型號：XRS-CV-5000
在集成電路特別是MOS電路的和開發(fā)研制中，MOS電容的C-V測試是極為重要的工藝過程監(jiān)控測試手段，通過C-V測試達到優(yōu)化過程中的工藝參數(shù)，提高IC成品率。 |
| XRS-CV-5000型電容電壓特性測試儀是測試頻率為1MHz的化數(shù)字的電容測試儀器，既可用于測試半導(dǎo)體器件PN結(jié)的勢壘電容在不同偏壓下的電容量，也可進行Mos電容的外加電壓掃描測試，還可測試其它MIS電容。 |
| 該電容電壓特性測試系統(tǒng)由主機和上位機（PC）組成，并在軟件控制下完成校準(zhǔn)及測試等功能，同時顯示C-V電容電壓特性曲線。主機面板上的發(fā)光二極管指示儀器的工作狀態(tài)，用數(shù)碼管組成的顯示板，將被測元件的數(shù)值，小數(shù)點清晰地顯示出來。儀器有較高的分辨率，電容量是五位讀數(shù)，可分辮到0.001pF，偏置電壓分辨力為0.1V，漏電流分辨力為0.01uA。 |
| 儀器配有XRS-CV-5000型測量座，接插元件靈活，方便可靠。 |
| XRS-CV-5000型電容電壓特性測試儀軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，程序操作直觀易用。測試程序在計算機與CV-5000型電容電壓特性測試測試儀連接的狀態(tài)下，通過計算機的USB口實現(xiàn)通訊。 測試程序控制電容電壓特性測試測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在計算機中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析。 |
| 技 術(shù) 指 標(biāo)： |
| 測試信號頻率 1.000MHz±0.01% 測試信號電壓 小于或等于100mVrms 電容測量范圍 1.000pF～2000.0pF 工作誤差 ±3.0%±2字 直流偏壓 -35V～+35V(可擴展)，由軟件按設(shè)定步進電壓值輸出偏置電壓； 軟件功能 由軟件控制電壓的掃描輸出，讀取不同電壓點的電容值并在電腦中繪出電容- 電壓的變化曲線； 電腦通訊接口 USB通訊接口； 應(yīng)用 主要應(yīng)用于PN結(jié)摻雜和MOS摻雜C-V特性測量在不同偏壓下的電容量，也可測試 其它電容。 供電電源 交流電壓：220V±5%；頻率： 50Hz±5%；消耗功率：不大于40W； 工作環(huán)境 溫度：0～40℃；濕度：20%~90%RH 40℃； |
