高精度非接觸三維掃描儀WAVESPEED 1010
高速非接觸雙測頭三維微觀輪廓形貌掃描測量； 測量范圍: X =100mm, Y =100mm, Z=100mm； 分辨率: X : 0.5µm, Y : 0.5µm； 三維表面形貌測量(激光三角波傳感器)； 垂直量程Z : 10mm, 分辨率: 1µm； 三維粗糙度測量(白光共焦法光學傳感器)； 垂直量程Z : 300µm, 分辨率: 0.01µm； 高速非接觸雙測頭三維微觀輪廓形貌掃描測量； 測量范圍: X =100mm, Y =100mm, Z=100mm； 分辨率: X : 0.5µm, Y : 0.5µm； 三維表面形貌測量(激光三角波傳感器)； 垂直量程Z : 10mm, 分辨率: 1µm； 三維粗糙度測量(白光共焦法光學傳感器)； 垂直量程Z : 300µm, 分辨率: 0.01µm；
