本真空冶金爐由主體反應(yīng)爐（帶冷凝收集器）、機(jī)械真空泵及測(cè)量、電控柜及相關(guān)聯(lián)接組成。主體反應(yīng)爐采用石墨發(fā)熱體加熱，鉑銠熱電偶測(cè)溫，精密程序控溫儀+可控硅+變壓器控溫，溫度達(dá)1600℃，控溫精度為±1℃；主體反應(yīng)爐同時(shí)帶冷凝收集器，外殼具水冷功能。設(shè)備外殼為不銹鋼，整個(gè)系統(tǒng)為真空密封，空爐冷態(tài)真空度達(dá)10Pa以內(nèi)，數(shù)顯真空測(cè)量范圍10²～10^-1Pa。