本真空冶金爐由主體反應爐、冷凝收集器、及羅茨真空泵+機械真空泵及相關聯(lián)接組成。主體反應爐采用石墨發(fā)熱體加熱,鉑銠熱電偶測溫,精密程序控溫儀+可控硅+變壓器控溫,溫度達1800℃,控溫精度為±1℃;