本真空冶金爐由主體反應(yīng)爐、冷凝收集器、及羅茨真空泵+機(jī)械真空泵及相關(guān)聯(lián)接組成。主體反應(yīng)爐采用石墨發(fā)熱體加熱，鉑銠熱電偶測溫，精密程序控溫儀+可控硅+變壓器控溫，溫度達(dá)1800℃，控溫精度為±1℃；
