詳細說明
自動橢圓偏振測厚儀/橢圓偏振測厚儀/測厚儀 型號:TP-TPY-2
產(chǎn)品點:
橢圓偏振測厚儀/測厚儀 型號:TP-TPY-2儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率,具有度、靈敏度以及自動控制等點。光源采用氦氖激光器,率穩(wěn)定波長度。
儀器采用USB接口與電腦連接,配套軟件能齊,具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式,適用于不同用戶橢圓偏振測厚儀/測厚儀 型號:TP-TPY-2的需要。
橢圓偏振測厚儀/測厚儀 型號:TP-TPY-2規(guī)格與主要術標:
測量范圍:薄膜厚度范圍1nm-4000nm 折射率范圍:1-10
測量小示值:≤1nm 入射角:20°- 90°度≤0.05°
度盤刻度:每格1度 允許樣品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm
偏振器步角:0.014°/步 偏振器方位角范圍:0°- 180°
測量膜厚和折射率重復性度分別為:0.5nm和0.005
橢圓偏振測厚儀/測厚儀 型號:TP-TPY-2儀器測量度:±0.5nm(薄膜厚度在10-100nm時)
光學中心度:80mm
成套性:主機、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件(需配計算機)
主機重量:26kg 外形尺寸:680*390*310mm
北京恒奧德儀器儀表有限公司
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