JZ-102D型探針測試臺與測試儀器配接后可用于集成電路芯片及各種晶體管芯的電參數(shù)測試及功能調(diào)試，適用于科研、新品試制及小批量生產(chǎn)的中間測試。
技 術(shù) 指 標(biāo)：
工作臺面 370mm*245mm載物臺直徑 4"可選二種放大倍數(shù) *14-90倍連續(xù)變倍； *17.5-112.5倍連續(xù)變倍；光學(xué)參數(shù) 手輪調(diào)焦范圍：60mm；升降調(diào)焦范圍：200mm；精密旋轉(zhuǎn)臺 粗調(diào)范圍：360°；微調(diào)范圍：±10°；小刻劃：1°； 銅盤直徑：Φ85mm；絕緣盤直徑：Φ102mm三維探針座 探針座X、Y、Z方向調(diào)節(jié)范圍：±3.25mm，分辨率±2μ； 三維探針座在工作臺面可任意位置固定，由磁性開關(guān)控制； 多可布三維探針座6個； 探針臂伸出長度：60mm； 探針長度：40mm；探針 探針材質(zhì)硬質(zhì)合金，針尖曲率半徑2μm；
標(biāo)準(zhǔn)配置：主工作臺、顯微鏡、承片臺、三維微調(diào)架2個、探針臂2支、探針2支。可選配件：三維微調(diào)架、探針臂、探針、真空泵。
可按用戶的實際需求進(jìn)行訂做。
