JZ-102D型探針測(cè)試臺(tái)與測(cè)試儀器配接后可用于集成電路芯片及各種晶體管芯的電參數(shù)測(cè)試及功能調(diào)試，適用于科研、新品試制及小批量生產(chǎn)的中間測(cè)試。
技 術(shù) 指 標(biāo)：
工作臺(tái)面 370mm*245mm載物臺(tái)直徑 4"可選二種放大倍數(shù) *14-90倍連續(xù)變倍； *17.5-112.5倍連續(xù)變倍；光學(xué)參數(shù) 手輪調(diào)焦范圍：60mm；升降調(diào)焦范圍：200mm；精密旋轉(zhuǎn)臺(tái) 粗調(diào)范圍：360°；微調(diào)范圍：±10°；小刻劃：1°； 銅盤直徑：Φ85mm；絕緣盤直徑：Φ102mm三維探針座 探針座X、Y、Z方向調(diào)節(jié)范圍：±3.25mm，分辨率±2μ； 三維探針座在工作臺(tái)面可任意位置固定，由磁性開(kāi)關(guān)控制； 多可布三維探針座6個(gè)； 探針臂伸出長(zhǎng)度：60mm； 探針長(zhǎng)度：40mm；探針 探針材質(zhì)硬質(zhì)合金，針尖曲率半徑2μm；
標(biāo)準(zhǔn)配置：主工作臺(tái)、顯微鏡、承片臺(tái)、三維微調(diào)架2個(gè)、探針臂2支、探針2支。可選配件：三維微調(diào)架、探針臂、探針、真空泵。
可按用戶的實(shí)際需求進(jìn)行訂做。
