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六維超高精密手動(dòng)位移臺(tái)NFP-6561/6561L

六維超高精密手動(dòng)位移臺(tái)NFP-6561/6561L
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NFP-6561/6561L
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六維超高精密手動(dòng)位移臺(tái)NFP-6561/6561L 六維超高精密手動(dòng)位移臺(tái)NFP-6561/6561L  
■技術(shù)指標(biāo)                                                                                                
◆Tx：13mm                               
◆Ty：13mm                                   
◆Tz：6mm                           
◆θx：-10°～10°                          
◆θy：-2°～４°                        
◆θz：-４°～４°                                        
◆靈敏度：1μm                                   
◆X.Y.Z軸直線度：<3μm           
 

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