技術(shù)參數(shù): 溫度范圍:-40℃~+250℃ ±0.1℃ 扭距范圍:0.1μNm~150μNm 分辨率:10-9N 旋轉(zhuǎn)速度:<10-7rad/sec-600rad/sec 角度位置分辨率:8x10-8radians; 擺動頻率范圍:10-6HZ-150HZ; 法向力范圍:0.1克~2000克