摘要：一種用于金屬表面處理可制備金屬和陶瓷復(fù)合膜的真空離子鍍膜機(jī)。它是在常規(guī)的真空離子鍍膜機(jī)上再配置射頻(R.F)磁控濺射靶，將其與多個(gè)電弧蒸發(fā)靶、多個(gè)多種直流(D.C)磁控濺射靶有機(jī)地組合在一個(gè)真空室內(nèi)，制備出既有金屬相又有陶瓷相特性的多層多種復(fù)合膜，尤其是能鍍制出透明陶瓷保護(hù)膜，使金屬表面改性達(dá)到高耐磨損、強(qiáng)耐腐蝕的目的。
- 專(zhuān)利類(lèi)型實(shí)用新型
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- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN98249501.3
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- 申請(qǐng)公布時(shí)間1999年12月29日
- 分類(lèi)號(hào)C23C14/35;
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