摘要:一種用于金屬表面處理可制備金屬和陶瓷復合膜的真空離子鍍膜機。它是在常規(guī)的真空離子鍍膜機上再配置射頻(R.F)磁控濺射靶,將其與多個電弧蒸發(fā)靶、多個多種直流(D.C)磁控濺射靶有機地組合在一個真空室內,制備出既有金屬相又有陶瓷相特性的多層多種復合膜,尤其是能鍍制出透明陶瓷保護膜,使金屬表面改性達到高耐磨損、強耐腐蝕的目的。
- 專利類型實用新型
- 申請人深圳市黃金屋真空科技有限公司;
- 發(fā)明人胡顯奇;
- 地址518053廣東省深圳市華僑城東E工業(yè)區(qū)5棟5樓東座胡顯奇轉
- 申請?zhí)?/b>CN98249501.3
- 申請時間1998年11月19日
- 申請公布號CN2356042Y
- 申請公布時間1999年12月29日
- 分類號C23C14/35;




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