摘要：本實用新型公開了一種石英晶片研磨在線測頻系統(tǒng)，包括電源模塊、MCU控制系統(tǒng)模塊、DDS模塊、射頻功率放大模塊、π網(wǎng)絡接口電路模塊、信號放大濾波模塊、射頻幅值檢測模塊和觸摸屏模塊。本實用新型用基于DDS技術的π網(wǎng)絡最大傳輸法檢測原理增強了系統(tǒng)的抗干擾性，解決現(xiàn)有ALC系統(tǒng)“在某些頻段發(fā)生測頻值跳變”的問題。本實用新型所有頻段采用統(tǒng)一的π網(wǎng)絡接口電路，解決現(xiàn)有ALC系統(tǒng)不同頻段需要更換探測頭的缺陷，降低射頻接頭頻繁插拔導致的電學故障風險，增強系統(tǒng)工作穩(wěn)定性，能夠顯著提升晶片研磨質(zhì)量和產(chǎn)品品質(zhì)穩(wěn)定性。硬件系統(tǒng)方案不僅能夠覆蓋目前晶片研磨生產(chǎn)所涉及的所有頻段，而且只需要通過算法參數(shù)上修改就能兼容石英晶片的所有切型。
- 專利類型實用新型
- 申請人浙江大學臺州研究院;
- 發(fā)明人郭彬;潘凌鋒;陳浙泊;陳一信;林斌;
- 地址318000 浙江省臺州市椒江區(qū)市府大道西段618號
- 申請?zhí)?/b>CN201620370210.4
- 申請時間2016年04月28日
- 申請公布號CN205720430U
- 申請公布時間2016年11月23日
- 分類號G01R23/02(2006.01)I;
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