摘要:本實用新型實施例公開了一種水冷籽晶桿,該籽晶桿用于連接籽晶夾頭及籽晶,所述水冷籽晶桿由空心內(nèi)管和U字形外管構(gòu)成,內(nèi)管和外管之間采用水密封連接;外管側(cè)上部設(shè)有用于出水的水嘴,外管底部設(shè)置有和籽晶夾頭連接的接口,外管內(nèi)空腔底部中心設(shè)有內(nèi)管定位固定槽,用于定位和固定內(nèi)管下端;內(nèi)管下端插在所述的定位固定槽內(nèi),內(nèi)管側(cè)部在高于定位固定槽上端面的一定高度開設(shè)出水孔,上述籽晶桿內(nèi)管被有效定位和固定,有效解決了長籽晶桿容易振動、制造過程出水口高度不容易控制以及內(nèi)管不易居中的問題,保證長晶過程順利有效進行。
- 專利類型實用新型
- 申請人上海晨華科技股份有限公司;
- 發(fā)明人王維;徐煒;孫礦;
- 地址201804 上海市嘉定區(qū)黃渡工業(yè)園區(qū)春濃路278號
- 申請?zhí)?/b>CN201521046052.9
- 申請時間2015年12月16日
- 申請公布號CN205223406U
- 申請公布時間2016年05月11日
- 分類號C30B15/32(2006.01)I;C30B17/00(2006.01)I;




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