摘要:本實用新型公開了一種封閉式恒溫冷卻研磨拋光機,其包括拋光研磨主機,拋光研磨主機包括機架,在機架上設置有至少一個研磨單元,每個研磨單元設置有一個研磨盆,在研磨盆內(nèi)設置有冷卻液噴灑管,在研磨盆的下端設置有研磨盆出液口,每個研磨單元設置有防護罩,防護罩設置在研磨盆的上方,防護罩將研磨盆上部的敞口覆蓋,防護罩上設置有用于觀察研磨盆內(nèi)部的活動門。本實用新型是在研磨盆的上方設置了防護罩,防護罩覆蓋了研磨盆上部的敞口,飛濺的冷卻液會撞擊到防護罩上,然后沿防護罩的內(nèi)壁回流到研磨盆內(nèi),然后進入到冷卻液冷卻系統(tǒng)循環(huán)使用,在減少了冷卻液浪費的同時,并可有效地提高設備的生產(chǎn)效率。
- 專利類型實用新型
- 申請人中科院南京耐爾思光電儀器有限公司;
- 發(fā)明人謝德海;侯孝賢;
- 地址211316 江蘇省南京市高淳區(qū)開發(fā)區(qū)花山路23號
- 申請?zhí)?/b>CN201520926406.2
- 申請時間2015年11月19日
- 申請公布號CN205184467U
- 申請公布時間2016年04月27日
- 分類號B24B13/00(2006.01)I;B24B55/00(2006.01)I;B24B55/03(2006.01)I;




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