摘要：本實(shí)用新型公開(kāi)了一種封閉式恒溫冷卻研磨拋光機(jī)，其包括拋光研磨主機(jī)，拋光研磨主機(jī)包括機(jī)架，在機(jī)架上設(shè)置有至少一個(gè)研磨單元，每個(gè)研磨單元設(shè)置有一個(gè)研磨盆，在研磨盆內(nèi)設(shè)置有冷卻液噴灑管，在研磨盆的下端設(shè)置有研磨盆出液口，每個(gè)研磨單元設(shè)置有防護(hù)罩，防護(hù)罩設(shè)置在研磨盆的上方，防護(hù)罩將研磨盆上部的敞口覆蓋，防護(hù)罩上設(shè)置有用于觀(guān)察研磨盆內(nèi)部的活動(dòng)門(mén)。本實(shí)用新型是在研磨盆的上方設(shè)置了防護(hù)罩，防護(hù)罩覆蓋了研磨盆上部的敞口，飛濺的冷卻液會(huì)撞擊到防護(hù)罩上，然后沿防護(hù)罩的內(nèi)壁回流到研磨盆內(nèi)，然后進(jìn)入到冷卻液冷卻系統(tǒng)循環(huán)使用，在減少了冷卻液浪費(fèi)的同時(shí)，并可有效地提高設(shè)備的生產(chǎn)效率。
- 專(zhuān)利類(lèi)型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人中科院南京耐爾思光電儀器有限公司;
- 發(fā)明人謝德海;侯孝賢;
- 地址211316 江蘇省南京市高淳區(qū)開(kāi)發(fā)區(qū)花山路23號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201520926406.2
- 申請(qǐng)時(shí)間2015年11月19日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN205184467U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年04月27日
- 分類(lèi)號(hào)B24B13/00(2006.01)I;B24B55/00(2006.01)I;B24B55/03(2006.01)I;
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