摘要:本實(shí)用新型為一種氣體流量控制系統(tǒng),由氣閥(1)、過濾器(2)、三通A(3)、穩(wěn)壓閥(4)、三通B(5)、質(zhì)量流量計(6)、三通C(7)、背壓閥(8)、單向閥(9)、測壓元件A(10)、測壓元件B(11)及測壓元件C(12)組成,使用時,打開進(jìn)氣閥(1),分別通過穩(wěn)壓閥(4)和背壓閥(8)控制質(zhì)量流量計(6)入口和出口的壓力,保證質(zhì)量流量計(6)前后壓差穩(wěn)定。該裝置結(jié)構(gòu)簡單、易于操作、流量控制穩(wěn)定。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請人天津市鵬翔科技有限公司;
- 發(fā)明人喬冠東;
- 地址300384 天津市西青區(qū)新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)海泰綠色產(chǎn)業(yè)基地M8-1-302
- 申請?zhí)?/b>CN201520632607.1
- 申請時間2015年08月17日
- 申請公布號CN204816454U
- 申請公布時間2015年12月02日
- 分類號B01J4/02(2006.01)I;




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