摘要:本實(shí)用新型為一種氣體流量控制系統(tǒng),由氣閥(1)、過(guò)濾器(2)、三通A(3)、穩(wěn)壓閥(4)、三通B(5)、質(zhì)量流量計(jì)(6)、三通C(7)、背壓閥(8)、單向閥(9)、測(cè)壓元件A(10)、測(cè)壓元件B(11)及測(cè)壓元件C(12)組成,使用時(shí),打開(kāi)進(jìn)氣閥(1),分別通過(guò)穩(wěn)壓閥(4)和背壓閥(8)控制質(zhì)量流量計(jì)(6)入口和出口的壓力,保證質(zhì)量流量計(jì)(6)前后壓差穩(wěn)定。該裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易于操作、流量控制穩(wěn)定。
- 專(zhuān)利類(lèi)型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人天津市鵬翔科技有限公司;
- 發(fā)明人喬冠東;
- 地址300384 天津市西青區(qū)新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)海泰綠色產(chǎn)業(yè)基地M8-1-302
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201520632607.1
- 申請(qǐng)時(shí)間2015年08月17日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN204816454U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年12月02日
- 分類(lèi)號(hào)B01J4/02(2006.01)I;




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