摘要：本實(shí)用新型公開(kāi)了一種激光硅片切割?yuàn)A具，包括底座、支撐桿、支撐面、硅片吸桿和吸氣管，所述底座面和所述支撐面平行，且通過(guò)所述支撐桿連接，所述支撐面為圓環(huán)形；所述底座上設(shè)置若干根平行于所述支撐桿的硅片吸桿，所述硅片吸桿頂端面設(shè)有吸盤(pán)；所述底座面上設(shè)有吸氣管，所述底座側(cè)面還設(shè)有吸氣接口，所述吸氣管和所述吸氣接口通過(guò)底座內(nèi)部連通。本實(shí)用新型通過(guò)吸附功能的硅片吸桿將硅片牢牢吸附在夾具支撐面上，同時(shí)設(shè)置吸氣管在切割過(guò)程中吹氣保證了切割邊緣的完整性，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便而且極具實(shí)用性。
- 專(zhuān)利類(lèi)型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人武漢瑞豐光電技術(shù)有限公司;
- 發(fā)明人廖衛(wèi)寧;李必剛;陳燎原;
- 地址430073 湖北省武漢市東湖開(kāi)發(fā)區(qū)關(guān)山二路特1號(hào)國(guó)際企業(yè)中心
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201320441408.3
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年07月23日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN203401254U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2014年01月22日
- 分類(lèi)號(hào)B23K37/04(2006.01)I;B23K26/42(2006.01)I;
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