摘要：一種利用壓電陶瓷實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)的二維解耦式微動(dòng)微掃平臺(tái)，它涉及一種微動(dòng)微掃平臺(tái)，具體涉及一種利用壓電陶瓷實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)的二維解耦式微動(dòng)微掃平臺(tái)。本實(shí)用新型為了解決傳統(tǒng)的掃描平臺(tái)設(shè)計(jì)運(yùn)動(dòng)單一，運(yùn)動(dòng)速度慢，產(chǎn)生位置誤差傳遞的問題。本實(shí)用新型的浮動(dòng)塊設(shè)置在公共底座上表面的中部，第一壓電制動(dòng)器下表面與公共底座的上表面之間設(shè)有一個(gè)壓電陶瓷，第二壓電制動(dòng)器的下表面與公共底座的上表面之間設(shè)有一個(gè)壓電陶瓷，第三壓電制動(dòng)器的下表面與公共底座的上表面之間設(shè)有一個(gè)壓電陶瓷，第四壓電制動(dòng)器的下表面與公共底座的上表面之間設(shè)有一個(gè)壓電陶瓷。本實(shí)用新型用于微納米級(jí)微動(dòng)平臺(tái)技術(shù)領(lǐng)域。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人哈爾濱芯明天科技有限公司;
- 發(fā)明人陳峰;邢立明;楊明遠(yuǎn);譚麗娜;陳雷;
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- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201220106182.7
- 申請(qǐng)時(shí)間2012年03月20日
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- 申請(qǐng)公布時(shí)間2012年10月03日
- 分類號(hào)H01L41/09(2006.01)I;H02N2/00(2006.01)I;
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