摘要：一種冷陰極輔助能譜系統(tǒng)，將陰極發(fā)光儀固定到顯微鏡上，通過(guò)能譜探測(cè)器附件與探測(cè)器連接，同時(shí)將探測(cè)器與電腦連接；其特征是：在陰極發(fā)光真空室觀察窗的位置添加能譜探測(cè)器附件，將探測(cè)器放置在能譜探測(cè)器附件上。該系統(tǒng)簡(jiǎn)化了前期樣品處理，能夠同時(shí)獲得樣品的透射、偏光、陰極發(fā)光圖片和樣品的元素種類、成分、形態(tài)與含量分析數(shù)據(jù)和譜圖，避免了電子槍的過(guò)熱造成的飽和、熱激發(fā)和儀器污染。此外，陰極光束大小、方向可調(diào)，儀器操作方便簡(jiǎn)潔。
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