摘要：本實(shí)用新型公開了一種真空爐，涉及用于半導(dǎo)體器件、金屬材料的熱處理和還原性燒結(jié)工藝，也可用于炭化試驗(yàn)。所要解決的技術(shù)問(wèn)題是傳統(tǒng)的真空爐滿足不了高溫工藝實(shí)驗(yàn)的要求，不能在高溫時(shí)連續(xù)抽真空，爐膛溫度不均勻等。其技術(shù)要點(diǎn)是機(jī)械框架為立式結(jié)構(gòu)，上部固定爐膛，里面裝有真空系統(tǒng)，底部裝有滾輪。爐膛由真空罐和加熱腔組成，真空罐由雙層鋼板焊成密封圓桶形，前門可開啟式，帶手動(dòng)鎖緊裝置，頂部裝有壓力表、安全閥、放氣閥，側(cè)面布置有電源線接口，加熱腔中耐火層選用莫來(lái)石纖維制品，加熱選用U型硅鉬棒，機(jī)械框架側(cè)面裝有循環(huán)冷卻水接口。本實(shí)用新型滿足了高溫工藝實(shí)驗(yàn)的要求，實(shí)現(xiàn)了高溫時(shí)連續(xù)抽真空，爐膛溫度均勻。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人合肥高歌熱處理應(yīng)用技術(shù)有限公司;
- 發(fā)明人譚宏勝;呂文強(qiáng);杜可棟;趙鳳;
- 地址231131 安徽省合肥市雙鳳工業(yè)區(qū)金藏路006號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201120173361.8
- 申請(qǐng)時(shí)間2011年05月27日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN202092460U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2011年12月28日
- 分類號(hào)F27B17/02(2006.01)I;F27D1/10(2006.01)I;F27D7/06(2006.01)I;
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