摘要：本實(shí)用新型公開(kāi)的是一種汽車歧管絕壓傳感器，包括擴(kuò)散硅芯片，其特征在于，在擴(kuò)散硅芯片的表面上運(yùn)用硅-硅鍵合和硅-玻璃融封技術(shù)形成一個(gè)杯型背壓腔保護(hù)層，把流體介質(zhì)與擴(kuò)散硅芯片表而電路隔離，所述杯型背壓腔保護(hù)層上設(shè)有基座引腳，所述基座引腳通過(guò)焊接的方式與擴(kuò)散硅芯片的芯片引角連接；擴(kuò)散硅芯片與杯型背壓腔保護(hù)層形成一敏感元件。本實(shí)用新型具有能夠抗振動(dòng)、抗冷熱沖擊、抗過(guò)載、抗電磁干擾的能力以及體積小、結(jié)構(gòu)靈活、精度高、穩(wěn)定性和一致性好優(yōu)點(diǎn)；而且可換性強(qiáng)，抗腐蝕和抗磨損能力卓越，從而使擴(kuò)散硅壓力傳感器在生產(chǎn)工藝上和性能指標(biāo)上了一個(gè)新臺(tái)階，產(chǎn)業(yè)化水平有了較大的提高，應(yīng)用設(shè)計(jì)靈活性有了大大的提高。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人昆山諾金傳感技術(shù)有限公司;威海諾金傳感技術(shù)有限公司;北京鑫諾金傳感技術(shù)有限公司;北京鑫諾金電子科技發(fā)展有限公司;北京德思源電子科技發(fā)展有限公司;
- 發(fā)明人郭宏;王莉莎;申愛(ài)群;師斌;龐曉華;
- 地址215325 江蘇省昆山市周莊鎮(zhèn)高科技園區(qū)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201020126949.3
- 申請(qǐng)時(shí)間2010年03月09日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN201697743U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2011年01月05日
- 分類號(hào)G01L9/06(2006.01)I;
教育裝備采購(gòu)網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號(hào)
