摘要：本發(fā)明公開了一種插板閥控制真空度系統(tǒng)及其控制方法，包括真空腔室、PLC、真空規(guī)管和計(jì)算機(jī)，真空腔室的進(jìn)氣口和出氣口分別設(shè)置有流量計(jì)和真空抽氣機(jī)組，真空抽氣機(jī)組與真空腔室之間的管路中設(shè)置有采用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的電動(dòng)插板閥，真空規(guī)管與真空腔室內(nèi)部連通，真空規(guī)管的檢測信號輸出端與PLC的真空度檢測信號輸入端連接，PLC與計(jì)算機(jī)通信連接，PLC的控制信號輸出端與電動(dòng)插板閥的電機(jī)控制信號輸入端連接，通過真空規(guī)管循環(huán)檢測真空腔室內(nèi)的真空度，如果實(shí)際真空度與設(shè)定真空度差值不等于0，則采用電動(dòng)插板閥控制出氣量，如果實(shí)際真空度與設(shè)定真空度差值等于0，則說明真空度已經(jīng)調(diào)節(jié)到了預(yù)設(shè)值。本發(fā)明控制精度高，可節(jié)約氣體和減少廢氣排放。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人成都中科唯實(shí)儀器有限責(zé)任公司;
- 發(fā)明人蔣冰霜;馬寧;王小軍;何吉?jiǎng)?魏瓊林;雷梁;冉從軍;
- 地址610041 四川省成都市高新區(qū)科園南一路七號
- 申請?zhí)?/b>CN201610556740.2
- 申請時(shí)間2016年07月15日
- 申請公布號CN106195391A
- 申請公布時(shí)間2016年12月07日
- 分類號F16K31/04(2006.01)I;G05B19/05(2006.01)I;
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