摘要：本發(fā)明公開了一種基于Fano諧振的超高精度波長(zhǎng)解析器。波導(dǎo)分束器與多個(gè)Fano濾波器的輸入端連接，F(xiàn)ano濾波器的輸出端經(jīng)各自的Fano濾波器連接到信號(hào)處理模塊，待測(cè)光由光波導(dǎo)經(jīng)過波導(dǎo)分束器分成多束光，多束光分別進(jìn)入到Fano濾波器濾波后輸出信號(hào)到Ge-Si光電探測(cè)器；Fano濾波器中設(shè)有TiN熱電極，通過加熱TiN熱電極調(diào)節(jié)Fano濾波器的輸出產(chǎn)生Fano濾波譜線，形成“X”形頻譜。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)在該“X”頻譜范圍內(nèi)對(duì)波長(zhǎng)超高精度的檢測(cè)，其器件制作采用普通的SOI硅片，具有良好的CMOS工藝兼容性，可大規(guī)模集成。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人浙江大學(xué);
- 發(fā)明人王根成;戴庭舸;楊梅;李宇波;王曰海;楊建義;
- 地址310027 浙江省杭州市西湖區(qū)浙大路38號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201610072445.X
- 申請(qǐng)時(shí)間2016年02月02日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN105651400A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年06月08日
- 分類號(hào)G01J9/02(2006.01)I;
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