摘要：混合電機(jī)驅(qū)動的自動控制顯微鏡載物平臺，涉及用于放置被觀測物的載物平臺。方案一：混合電機(jī)驅(qū)動的自動控制顯微鏡載物平臺，包括載物臺、壓電電機(jī)、永磁同步直線電機(jī)、反饋裝置和控制電路；方案二：混合電機(jī)驅(qū)動的自動控制顯微鏡載物平臺，包括載物臺、壓電電機(jī)、永磁同步直線電機(jī)、反饋裝置和控制電路。通過改變驅(qū)動載物臺上驅(qū)動電機(jī)，用永磁同步直線電機(jī)和壓電電機(jī)代替步進(jìn)電機(jī)，分別驅(qū)動平臺進(jìn)行X軸和Y軸運(yùn)動，配合導(dǎo)軌和編碼器位置檢測實現(xiàn)平臺的高精度控制。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人海德星科技（廈門）有限公司;
- 發(fā)明人胡亦寧;張家政;黃種團(tuán);
- 地址361009 福建省廈門市湖里區(qū)廈門火炬高新區(qū)創(chuàng)業(yè)園偉業(yè)樓北樓N207室
- 申請?zhí)?/b>CN201510922680.7
- 申請時間2015年12月11日
- 申請公布號CN105353502A
- 申請公布時間2016年02月24日
- 分類號G02B21/34(2006.01)I;
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