摘要：混合電機(jī)驅(qū)動(dòng)的自動(dòng)控制顯微鏡載物平臺(tái)，涉及用于放置被觀測(cè)物的載物平臺(tái)。方案一：混合電機(jī)驅(qū)動(dòng)的自動(dòng)控制顯微鏡載物平臺(tái)，包括載物臺(tái)、壓電電機(jī)、永磁同步直線電機(jī)、反饋裝置和控制電路；方案二：混合電機(jī)驅(qū)動(dòng)的自動(dòng)控制顯微鏡載物平臺(tái)，包括載物臺(tái)、壓電電機(jī)、永磁同步直線電機(jī)、反饋裝置和控制電路。通過改變驅(qū)動(dòng)載物臺(tái)上驅(qū)動(dòng)電機(jī)，用永磁同步直線電機(jī)和壓電電機(jī)代替步進(jìn)電機(jī)，分別驅(qū)動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行X軸和Y軸運(yùn)動(dòng)，配合導(dǎo)軌和編碼器位置檢測(cè)實(shí)現(xiàn)平臺(tái)的高精度控制。
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