摘要：本發(fā)明提供一種光學(xué)檢測裝置及方法，包括垂直設(shè)置的測量光路和參考光路，在所述測量光路上依次設(shè)置有激光器、擴束鏡、分束器、補償器、移動反射鏡和壓電陶瓷，當(dāng)所述壓電陶瓷發(fā)生形變時，所述移動反光鏡隨壓電陶瓷形變在測量光路方向上發(fā)生位移，所述壓電陶瓷還連接有控制電箱；在所述參考光路包括與分光器處于同一軸線上的固定反射鏡和觀察屏，所述反射鏡和觀察屏分別設(shè)置在分光器的上方和下方。本發(fā)明的有益效果是能夠方便的改變施加在壓電陶瓷兩端的電壓，進而改變壓電陶瓷的電場強度，能夠精確的測量壓電陶瓷微小的伸長量。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人天津港東科技發(fā)展股份有限公司;
- 發(fā)明人張姝;張甫順;
- 地址300384 天津市南開區(qū)華苑產(chǎn)業(yè)園區(qū)鑫貿(mào)科技園G座EF單元
- 申請?zhí)?/b>CN201510593154.0
- 申請時間2015年09月17日
- 申請公布號CN105092987A
- 申請公布時間2015年11月25日
- 分類號G01R29/22(2006.01)I;G01B21/02(2006.01)I;
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