摘要：本發(fā)明公開了一種光柵組微位移傳感器及其測量位移的方法，它包括光源、分束器、第一光柵層、第二光柵層、增反層、第一紅外光電探測器、第二紅外光電探測器、第一固定底座、第二固定底座、回形懸臂梁、上層電容平板、下層電容平板、依據(jù)光電信號計算位移的信號處理模塊和向電容平板輸送電流的電流驅(qū)動模塊。本發(fā)明依據(jù)伍德異常現(xiàn)象，利用兩層光柵位移時，反射光產(chǎn)生脈沖式變化的現(xiàn)象，通過在兩光柵層制作多組光柵，每組光柵中上下兩層光柵初始相對位置的不同設定，使得每組光柵產(chǎn)生脈沖式變化對應的上下兩層光柵的微位移量不同，從而對位移信號細分，測量位移。本發(fā)明實現(xiàn)了傳感系統(tǒng)的小型化，精度高，在航空、軍事領域都有很廣泛的應用前景。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人浙江大學;
- 發(fā)明人王晨;白劍;楊愷倫;汪凱巍;
- 地址310058 浙江省杭州市西湖區(qū)余杭塘路866號
- 申請?zhí)?/b>CN201410637041.1
- 申請時間2014年11月13日
- 申請公布號CN104406525B
- 申請公布時間2017年02月15日
- 分類號G01B11/02(2006.01)I;
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