摘要：本發(fā)明公開了一種光柵組微位移傳感器及其測(cè)量位移的方法，它包括光源、分束器、第一光柵層、第二光柵層、增反層、第一紅外光電探測(cè)器、第二紅外光電探測(cè)器、第一固定底座、第二固定底座、回形懸臂梁、上層電容平板、下層電容平板、依據(jù)光電信號(hào)計(jì)算位移的信號(hào)處理模塊和向電容平板輸送電流的電流驅(qū)動(dòng)模塊。本發(fā)明依據(jù)伍德異常現(xiàn)象，利用兩層光柵位移時(shí)，反射光產(chǎn)生脈沖式變化的現(xiàn)象，通過在兩光柵層制作多組光柵，每組光柵中上下兩層光柵初始相對(duì)位置的不同設(shè)定，使得每組光柵產(chǎn)生脈沖式變化對(duì)應(yīng)的上下兩層光柵的微位移量不同，從而對(duì)位移信號(hào)細(xì)分，測(cè)量位移。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了傳感系統(tǒng)的小型化，精度高，在航空、軍事領(lǐng)域都有很廣泛的應(yīng)用前景。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人浙江大學(xué);
- 發(fā)明人王晨;白劍;楊愷倫;汪凱巍;
- 地址310058 浙江省杭州市西湖區(qū)余杭塘路866號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201410637041.1
- 申請(qǐng)時(shí)間2014年11月13日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN104406525B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2017年02月15日
- 分類號(hào)G01B11/02(2006.01)I;
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